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中走絲線切割(環保型快走絲線切割)加工中同內圓切割技術相比有其明顯的弱點
發布時間:2013-07-19   點擊次數:1770次

    中走絲線切割(環保型快走絲線切割)加工中同內圓切割技術相比有其明顯的弱點,一是片厚平均誤差較大(約為內圓切割技術2倍)。二是切割過程中智能檢測控製不易實現。三是切割過程的成功率要求較高,風險大,一但斷絲而不可挽救時,直接浪費一根單晶棒。四是不能實現單片質量控製,一次切割完成後,才能檢測一批圓片的切割質量,並且圓片之間切割質量也不相同。
    在這些方麵,電火花線切割內圓切割技術卻顯示出其優越性來。具體表現在:
    a、自動、單片方式切換操作方便性。
    b、小批量多規格加工時靈活的加工可調性
    c、切片精度高,切片成本低,同規格級的內圓切片機價格為線切割機價格1/3~1/4,線切割機還需配置專用粘料機,每片都可調整。
    d、低成本的輔料(線切割機磨料及磨料液要定時更換)。
    e、不同片厚所需較小的調整時間,不同棒徑所需較小的調整時間。
    f、修刀、裝刀方便。八十年代中後期人們普遍認為:隨著矽晶片大片徑化發展,線切割技術是矽片切割的主流技術,在規模化晶圓片切割中將取代內圓切割(環保型快走絲線切割)技術。因此人們加大了對200mm以上線切割機的研究,以解決其技術不足。

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